•전선/튜브 플라즈마 처리기술
•전선으로 사용하는 구리 표면의 과도한 산화물은 대부분 불소로 집적 회로 패드에 있으며, 그 기원은 공기 에 존재하며 본드 패드에 증착되는 경향이있는 "대기"오염을
노래하기 전에 발생하는 웨이퍼 공정에 놓여 있습니다. 이것은
주로 유기이지만, 공기에서 무기의 흔적은 일반적으로 존재한다. 가스 전달에서 나오는 유기 오염 접착제 부착. 이들은 리드프레임 또는 기판및 또한 집적 회로 메탈화에서 찾아낼 수 있다. 이그레이션을 통한 니켈 마이그레이션은 가장 잘 알려진 확산 제품입니다. 유기물과 산화물의 존재는 주로 와이어 본드 통계에 영향을
미치며 무기 오염은 일반적으로 장기적인 신뢰성에 영향을 미칩니다.
현재 사용되는 전선의 접합 표면은 좋은 결합을 망치는 경향이 있는
오염물질에
의해 덮여 있습니다, 플라즈마는 높은 공정 능력으로 매우 안정적으로 작동하는
프로세스에서 오염원을
제거하는 역할을 할 수 있습니다.
접합 영역을 개선하고 패드 손상을 줄이는 향상된 와이어
본드 프로세스는
공정에 비해 신뢰성이 항상 향상됩니다.
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